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日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵 Model:LR北崎熱賣

更新時(shí)間：2025-08-19      瀏覽次數(shù)：389

多級(jí)羅茨型干泵Model:LR

通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。




    特點(diǎn)

    • 低溫區(qū)域均熱化（Model:LR）
      在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

    • 氦氣密封
      通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

    • 瞬停對(duì)策
      采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

    • 出色的耐腐蝕性
      主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

    • 通信功能
      可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。







    用途

    • 成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）

    • 縮短備料下料室的排氣時(shí)間

    • 作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）







    規(guī)格

    型號(hào)LR60LR90LR180LR421LR421-T
    最大
    排氣速度    		50Hz62 m3/h
    (1030 L/min)    		112 m3/h
    (1860 L/min)    		183 m3/h
    (3100 L/min)    		440 m3/h
    (7333 L/min)    		440 m3/h
    (7333 L/min)
    60Hz80 m3/h
    (1333 L/min)    		126 m3/h
    (2100 L/min)    		237 m3/h
    (3950 L/min)
    到達(dá)壓力5.0 Pa
    最大排氣壓力 （吸入圧力）　大氣壓
    最大排氣口壓力
    （排出圧力）    		1~ 大氣壓 Pa
    吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
    排氣口KF40VG50
    質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
    電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
    380~440 VAC(50/60 Hz)
    電流值穩(wěn)定時(shí)6.9 A
    (at 200V)    		11.2 A
    (at 200V)    		18.9 A
    (at 200V)    		20.8 A
    (at 200V)
    最大值7.3 A
    (at 200V)    		11.8 A
    (at 200V)    		20.6 A
    (at 200V)    		48.5 A
    (at 200V)
    冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
    冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
    吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
    二次壓力0.05~0.1 MPa
    氮?dú)獯祾?/td>軸5 SLM
    氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM

    *1 請(qǐng)訂購(gòu)時(shí)指定。



    型號(hào)LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
    (TT)    		LR3601-RLR3601-TR
    (TTR)
    使用泵干式
    真空泵    		LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
    機(jī)械
    增壓泵    		PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
    (-T)    		PRC-036DPRC-036D
    (D-T)
    最大
    排氣
    速度    		50Hz359 m3/h
    (5,980
    L/min)    		653 m3/h
    (10,900
    L/min)    		1,012 m3/h
    (16,900
    L/min)    		1,701 m3/h
    (28,350
    L/min)    		3,200 m3/h(53,333 L/min)
    60Hz365 m3/h
    (6,080
    L/min)    		701 m3/h
    (11,700
    L/min)    		1,051 m3/h
    (17,500
    L/min)    		1,784 m3/h
    (29,700
    L/min)
    到達(dá)壓力0.67 Pa
    最大排氣壓力
    （吸入圧力）    		大氣壓
    最大排氣口壓力
    （排出圧力）    		1~ 大氣壓 Pa
    吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
    (KF80)    		VG100
    (KF100)    		VG150
    (KF100)    		VG150
    排氣口KF40KF50
    MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
    TT:×    		×TR:×
    TTR:〇
    質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
    電源
    *2    		三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
    電流值穩(wěn)定時(shí)7.0 A
    (at 200V)    		12.3 A
    (at 200V)    		13.7 A
    (at 200V)    		21.4 A
    (at 200V)    		31.0 A(at 200V)
    20.5 A(at 400V)    		35.4 A(at 200V)
    20.5 A(at 400V)
    最大值9.6 A
    (at 200V)    		19.0 A
    (at 200V)    		24.2 A
    (at 200V)    		39.8 A
    (at 200V)    		58.4 A(at 200V)
    40.5 A(at 400V)    		82.0 A(at 200V)
    40.5 A(at 400V)
    冷卻水
    一次壓力    		0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷卻水
    出入口壓差    		>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
    吹掃氣一次
    壓力    		0.1~0.5 MPa
    二次
    壓力    		0.05~0.1 MPa
    N2
    吹掃    		軸5 SLM
    氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM

    *1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
    *2 請(qǐng)訂購(gòu)時(shí)指定。
    *3 根據(jù)用途，使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報(bào)價(jià)。



    配飾

    ■消音器 (選項(xiàng))

    型號(hào)材質(zhì)表面處理重量
    (kg)    		法蘭
    接口    		LR
    300    		LR
    600    		LR
    1200    		LR
    1800    		L&
    3601    		LR
    60    		LR
    90    		LR
    180    		LR
    421    		LR
    421-T
    RS-01 +
    kitA    		SUS
    304    		GBB處理4.1
    kg    		KF40〇----〇〇---
    RS-01 +
    kitB    		KF40-〇〇-------
    RS-02 +
    kitA    		8.3
    kg    		KF40〇------〇--
    RS-02 +
    kitB    		KF40-〇〇〇------
    RS-03 +
    kitA    		磨板12.5
    kg    		KF50--------〇〇
    RS-03 +
    kitB    		----〇-----



    排氣速度曲線

    • LR60

    LR60_curve.png

    • LR90

    LR90_curve.png

    • LR180

    LR180_curve.png

    • LR421-T

    LR421_curve.png

    • LR300 / LR600

    LR300_600_curve.png

    • LR1200

    LR1200_curve.png

    • LR1800

    LR1800_curve.png

    • LR3601(-R / -TR / -TTR)

    LR3601R_TR_TTR_curve.png

    • LR3601(-T / -TT)

    LR3601T_TT_curve.png






      電話：TEL

      86-010-67868591

      地址：ADDRESS

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